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真空烧结炉的主要特点有哪些呢
发布时间:2020-07-27   浏览:6259次

  真空烧结炉的主要特点有哪些呢

  真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。

  同时,真空烧结炉亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。设备分为单工位、双工位及多工位。下面我们就看看它的主要特点:

  1、关键件全部采用进口件,具有高可靠性;

  2、真空烧结炉具有可编程的升、降温功能;

  3、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;

  4、真空烧结炉具有高抗干扰能力;

  5、真空甩带炉具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。


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  真空烧结炉中管子在使用中的注意事项有哪些呢   真空烧结炉中管子在使用中的注意事项有哪些呢?今天小编和大家说下。   1.温差太大,使用的时候都在管子中放隔热塞(每侧两个),位置是热区和冷区之间的位置。   2.这么高的温度管子中间是比较软的,因此管子比较容易变形断裂。建议在管子两侧加托架   3.还有就是新买的管子要在不同温度下烘几次才可以用我们这里新买回来的管子,一般烘几次。在200℃,1000℃一般保温1个小时。   4.建议升温速度不要过快的,不要跨越升温速度***快140℃/h,极限速度***快10℃/min冷却尤其要注意的!升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于10℃/分钟,托架可以减少变形,断裂.红色箭头表示重力作用,蓝色箭头表示支撑作用。   5.除了上面的支架问题;还有,在真空烧结炉里面烧的样品,特别是要烧到1300℃左右的样品,***好含水量要少(含水量是指,吸附水,结晶水等,在加热过程中可能生成的水);建议你的样品先预烧下,再放进管式炉,***好不要在高温状态下取样、加样,容易损坏刚玉的炉管。   6.不得强烈触碰刚玉炉管不得在300℃-900℃保温不得用低温物体触碰高温的炉管.   7.建议真空烧结炉升降温速率:500℃以下≤5℃/min;500-800℃≤10℃/min;800-1000℃≤5℃/min;1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min

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