真空烧结炉常见泄漏点及检漏方法介绍

　　一台漏率合格的真空烧结炉，先需要保证炉体内的高真空，但作为一个系统，与炉体相连的各部分也都必须无泄漏点才能保证真空的保持。因此，在判定设备的漏点时需先从真空系统分析其可能存在的漏点，常见位置包括：

　　1、机械泵、罗茨泵、扩散泵等真空泵组泄漏；

　　2、冷凝器内毛细管及毛细管与法兰连接处泄漏；

　　3、真空管道与弯头连接处及管道之前焊接处泄漏；

　　4、真空阀门本身及其与管道连接处泄漏。

　　下面我们再来了解检漏方法

　　真空烧结炉检漏的方法很多，根据被检设备所处的状态可分为气泡检漏法、升压检漏法和氦质谱检漏法三种。

　　1、气泡检漏法

　　气泡检漏法是将空气压入被检部件，然后将其浸入水中或对其可疑表面涂上肥皂液，如果被检部件上有漏孔，肥皂液就会鼓起气泡，通过观察气泡可以判断漏孔的存在和位置。这种检漏方法主要用于被检真空炉的连接处采用法兰螺栓连接等可以承受正压的场合，可用于小型烧结炉或真空管路的检漏。如果烧结炉由于结构复杂、体积较大、结合面较多，通常在检漏初期采用气泡检漏法，该方法经济实用，能取得较好的检漏效果。

　　2、升压检漏法

　　升压检漏法是当被检容器内真空度达到100Pa以下时，在怀疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易挥发液体，如果有漏孔，丙酮气体就会通过漏孔进入被检容器内部，可从真空监测仪表上显示压力是否突然有明显的升高来判断该设备是否有泄漏，并且判定漏孔的存在、位置。在真空烧结炉检漏中期，即气泡检漏法不能完全找到设备漏点时，采用升压检漏法可进一步检测出设备的漏点，效果良好。

　　3、氦质谱检漏法

　　氦质谱检漏是一种常见也是更可靠的真空炉检漏方法，它是利用氦质谱检漏仪的磁偏转原理，对于泄漏气体氦气反应灵敏，从而确定漏点的检漏方式。这种检漏方法充分利用了氦气的强渗透、易流动、易扩散等性能，检漏过程不易受干扰，不会误判，反应快。在真空烧结炉检测时，首先给管路充气，把检漏仪按照要求接好，检漏仪监测点尽量接在前级真空管路上；其次是考虑检漏点的检漏顺序，一般来说，经常活动的真空部分是优先考虑的，比如真空室门的密封圈等，然后考虑真空系统的静态接触点，如真空规处、真空管路的外接法兰处等，之后是气路系统和水路系统。